墨點烘箱，墨點氮氣烘箱是半導體行業，芯片加工工藝流程中打墨點工藝后，將硅片放入烘箱進行墨點烘干專用設備。
墨點烘箱，墨點氮氣烘箱的來源
隨著半導體技術的快速發展，芯片的集成度也隨之不斷提高，使得芯片的制作工藝日趨復雜。為了保證較高的成品率，對整個芯片加工工藝流程和裝置設備的要求就會更加嚴格。在曝光過程中，由于曝光系統一次曝光的面積大小是有限的，因此在曝光時會產生非全部曝光的芯片。工藝過程中，為了監控過程工藝質量，需要對這樣的非完整芯片進行標識。
傳統的標識方法主要采用物理墨點的形式對非完整芯片進行標識，主要步驟為：在芯片完成過程工藝及測試后，將硅片放入物理墨點的設備，輸入專用程序，對第一顆非完整芯粒進行打墨點工藝，待打點完成后，將硅片放入烘箱進行墨點烘干操作。
墨點烘箱，墨點氮氣烘箱性能要求：
溫度范圍：RT+10～200℃；
溫度偏差：≤±2.0℃；
升溫速度：≤5℃/min；
內部尺寸：
450×450×450mm（4）
500×500×550mm（6）
600×600×700mm（8）
可定制
電源：AC380V 50HZ
輸入氣體：N2
氮氣烘箱結構：
箱體材料：外箱采用優質不銹鋼或冷軋板噴塑；
內室材料：采用SUS304不銹鋼；
保溫材料：高性能環保陶瓷纖維；
置物架：2層；
空氣循環：強制循環；
氮氣烘箱適用于半導體、電子、液晶顯示、LCD、PCB,CMOS、IC、LCP、PI、BCB、醫藥、實驗室等生產及科研部門。潔凈烘箱也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其它高溫試驗。
