無氧烘箱，智能無氧雙層烘箱智能功能：

1.機臺配備MES通訊功能；
2.人機界面和PLC,可依使用者區分制程/設備/OP權限；
3.主溫控溫度實時顯示于人機界面；
4.氮氣流量顯示人機界面，也可在人機界面設定氮氣ON/OFF，隨RECIPE設定；
5.機臺上下箱各配備一臺掃描槍；
6.制程條件參數改于人機畫面上以表格化方式輸入，只要依序輸入欲制程條件系統即會自動轉入溫控器；
7.系統可與客戶IT進行連接，可選用條形碼上傳IT后，接收由IT比對下載制程數據或直接接收IT所下載制程數據方式，系統并自動將制程寫入溫控器，達到遠程制程下載，避免人員制程選擇操作錯誤問題；
8.系統提供主控點溫度、六點溫度、氮氣流量值及設備狀態數據可供IT進行連接讀取，讓客戶端可遠程隨時掌握設備狀況；
9.超溫防止器與人機連接，隨RECIPE設定；
10.具有馬達轉速偵測功能，且在人機顯示轉速；
11.人機有異常履歷可查詢。

 無氧烘箱，智能無氧雙層烘箱技術參數（以下數據均為單箱參數，每個箱體單獨控制、運行）

溫度范圍： RT+10～300/400/500℃；
內箱尺寸： 450*450*450,500*600*700；可定制 
升溫速率（空載）:0-15℃/min；
降溫方式 :自然降溫/水冷/風冷；
氧含量： ≤50ppm，實時檢測并顯示；
控溫穩定度： ≤±1℃；
溫度均勻度：≤±1.5%℃（空載）；

腔體數量：2/3/4/6腔體可選。