堅膜烘箱，真空堅膜烤箱的用途：

   堅膜烘箱用于半導體制造中半導體襯底片、硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料顯影后堅膜烘烤；也適用于涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤以及電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門。

1、*蒸發(fā)掉光刻膠里面的溶劑（以免在污染后續(xù)的離子注入環(huán)境，例如DNQ酚醛樹脂光刻膠中的氮會引起光刻膠局部爆裂）；

2、以提高光刻膠在離子注入或刻蝕中保護下表面的能力；

3、進一步增強光刻膠與硅片表面之間的黏附性；

4、進一步減少駐波效應。

堅膜烘箱，真空堅膜烤箱主要參數：

潔凈度：百級；

電源電壓：AC 220V±10%/50Hz±2%

輸入功率：2000W

溫度范圍：RT+10℃-250℃

溫度分辨率：0.1℃

溫度波動度：±0.5℃

達到真空度：133Pa（可選擇熱風循環(huán)烤箱）

工作室尺寸（mm）：450*450*450

擱板層數：2層

設備采用先進成熟的設計思想，制造技術。
設備在具有優(yōu)良的品質，即可靠性要高，使用壽命長。
設備具有良好的操作性，方便的維修性，可靠的安全性。

使用注意事項：

1、烘烤不足，會減弱光刻膠的強度（抗刻蝕能力和離子注入中的阻擋能力）；降低針孔填充能力；降低與基底的黏附能力。

2、烘烤過度，引起光刻膠的流動，使圖形精度降低，分辨率變差。